大家好今天和大家一起聊一下MEMS传感器，首先我们要了解一下什么是MEMS技术。MEMS就是“Micro-Electro-Mechanical system”微机电系统英文单词的缩写，它是将微电子电路技术与微机械系统融合到一起的工业技术。他的尺寸范围一般是在微米范围，微机电系统由尺寸为1到100微米的部件组成。一般微机电设备的通常尺寸在20微米到1毫米之间。
接下来我们来了解一下利用MEMS技术生产制造出来的传感器，为什么会有MEMS传感器呢？因为对于做传感器芯片的公司来说，为了适应更智能化小型化需求，会利用MEMS技术来生产和设计一些传感器，这样传感器的体积会更小，一般长宽高都在毫米级别，在现代化的生活当中，其实我们身边绝对少不了MEMS传感器。比如我们使用的智能手机、智能手环、智能手表等，这些现代化的可穿戴设备里面都至少使用了MEMS加速度传感器或者陀螺仪，有的甚至还会使用地磁传感器。就拿我们比较熟悉的微信运动步数来说，他就是利用这些传感器来检测你的运动状态。所以说MEMS传感器已经和我们的生活息息相关无处不在。
那MEMS传感器有哪些部分组成呢？第一个肯定是必须要有一个MEMS单元；第二个ASIC电路；第三个解耦单元；第四个就是连线，需要把MEMS单元和ASIC电路连接起来；第五就是承载这些部分的PCB板。通过这些单元共同组成了一个MEMS传感器。
市面上常见的MEMS传感器，测量物体加速度的加速度传感器、测量角速度的陀螺仪传感器、可以将各种磁场及其变化的量转变的电信号的地磁传感器，以及气压传感器、温度传感器、压力传感器、电场传感器等。
实际应用当中，大部分情况都需要将这些传感器结合在一起使用，组合成感知更加丰富的系统。例如苏州邈航公司所生产的惯性测量单元就是结合了MEMS陀螺仪及加速度计。可以同时输出载体的角速度和加速度信息。结合陀螺仪、加速度计、磁罗盘、气压计、温度计生产的航姿参考系统，可以提供载体航姿及航向信息。结合陀螺仪、加速度计、磁罗盘、气压计、温度计、卫星接收机生产的组合导航系统，可以提供载体航姿、航向。位置等信息。与传统的产品相比利用MEMS技术生产的设备拥有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高等特点。已广泛应用于可穿戴设备、无人机、无人船、无人车、机器人等领域。
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